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净化洁净室空气的方法山东洁净净化工程
洁净工作台方法
半导体工业采用了许多这些技术。然而，一个主要问题是，当从一个小型加工厂扩展到一个拥有更多工人的大型车间时，很难保持其固有的清洁度。早期的半导体工业发展了将天花板三明治和墙壁过滤成干净的工作台方法。这主要是将过滤器安装在一个工作台上，并使用不会脱落的物质。在工作台外面，晶片在密封盒中储存和运输。
工作台（称为工作盖）按顺序排列在大型车间中，形成一个加工区域，使晶片能够qianqian2018通过工艺顺序而不会暴露在空气中。清洁工作罩中的过滤器是高效的颗粒收集过滤器（HEPA过滤器）。这些过滤器由脆性纤维和许多小孔组成，并由手风琴叶折叠。由于小孔的高密度和过滤层的大面积，大量空气以低速流动。由于低速空气避免了空气流动，因此有助于工作台的清洁，并且操作员也必须在舒适的环境中工作。典型的空气流量6为每分钟90至100英寸。 HEPA过滤器的过滤效率高达99.99？r，可用于三种净化方法。
2.隧道/车间概念
随着更严格的颗粒控制变得必要，洁净工作台会产生一些缺点。这主要是由于车间许多工人的流动造成的污染。进入车间的工人可能会被所有过程的工作站污染。
将加工厂划分为不同的隧道可以解决人员污染问题。过滤器现在安装在商店的天花板上，而不是安装在单独的工作台上，但它也做同样的事情。通过天花板中的过滤器流入的空气可以保持清洁，并且可以减少人员产生的污染，因为工作台周围的工作人员减少了。然而，该方法的缺点是构造昂贵并且不适合于工艺变化。
3.完成洁净室方法
洁净室设计和过滤技术的发展使我们能够回到开放式加工区域的建设。在最先进的设计中，空气过滤包括天花板中的HEPA过滤器，并从地板回收空气以保持连续的清洁空气。流。桌子的顶部有通孔，允许无阻碍的空气流过。
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