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测试项目：能谱分析。
测试目的：定性或定量的对试样微区的元素含量和元素组成进行分析。
项目介绍：当一种高能量电子束作用到一个试样上时会产生X射线，这种X射线随着试样中不同的化学组成（原子类别）特征而具有不同的能量（波长）。每种元素的X射线强度与该元素在试样中的含量相关。本测试正是通过能谱法来检测这些特征X射线的强度来得到元素的组成和含量。能谱分析的特点：无损伤分析，分析速度快。
测试要求：
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测试标准 |
标准名称 |
样品要求 |
测试内容 |
适用范围 |
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GB/T 17359-2012 |
微束分析 能谱法定量分析 |
分析材料应在变化压力下和电子束轰击下稳定。样品测试表面应平整无污染。 |
测定元素含量 |
质量分数高于1%的元素；分析原子序数大于10的元素分析置信度更高 |
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ASTM E1508-2012a(2019) |
能谱法定量分析指南 |
分析材料应在变化压力下和电子束轰击下稳定。样品测试表面应平整无污染。 |
EDS测定单质浓度 |
元素含量高于或等于0.1%时分析更快更准确 |
