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项目 |
指标纯度% |
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高纯氮气、超高纯氮气(N2) |
99.999 |
99.9997 |
99.9999 |
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杂质含量(ppm) |
氧(O2) |
≤3 |
≤0.5 |
≤0.2 |
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氢(H2) |
≤1 |
≤1 |
≤0.5 |
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水份(H2O) |
≤3 |
≤0.5 |
≤0.2 |
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二氧化碳(CO2) |
≤3 |
≤0.5 |
≤0.1 |
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一氧化碳(CO) |
≤0.5 |
≤0.5 |
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甲烷(CH4) |
≤0.2 |
≤0.1 |
|||
