产品详情
1.设备参数规格:Φ280*2800mm,最大进料量 20K,8温区/16温区(也可以是Φ310*3000mm 16区)。
2.加热元件:进口KTL电阻丝。
保温区温度:室温至400℃可调;恒温温度随时间和空间波动不大于±1℃(测试方法符合国家计量标准JJF 1184-2007)。
10.炉管尺寸280MM*3M,腔体采用三层石英管装置,可以自动进出料,结构可保证真空室管不受污染,保持较高的真空度。中层管取料方便,易于清洗,内层料管分段升华后各段料容易区分,能最大限度的保证产品和纯度和产率(最大升华率97%,与材料和配置有关)。
11.腔体采用内控温和外控温相互切换,防止石英折射和散射造成的温场不均匀现象。
12.设备的正面端面都采用石英密封观察窗,可以全方位无死角观察生产中材料的提纯情况,配上摄像系统可实现生产升华过程全监控和记录。
13.抽真空端采用了主管直径280mm的分子泵直连,确保实验中高真空的需求,在直径280mm直管中间加插板阀,插板阀的两端加直径3mm细管多孔旁抽支路,防止在初真空时抽速太大影响分子扩散的方向,导致材料不均匀。