产品详情
二手进口光驰带涉频源高配光学镀膜机/真空镀膜机/光学电镀机介绍
1.光学真空镀膜设备主要部件制造所用原材料应符合相应材料标准的规定，并具有质量证书。
二、设备零件的加工质量和焊接质量应符合制造商技术文件的规定。
3、设备的装配质量应符合制造商技术文件的规定。组装时，真空部件的表面应有效清洁和干燥。组装后，运动部件应灵活稳定。
4.设备涂层沉积源、离子轰击、工件偏压、工件加热、膜厚监测等设备应逐项调试，性能应符合设计要求，运行可靠。设备应在工件加热过程中正常运行。
5.设备配备的自制或采购的泵、阀、表、计等机电部件均符合相应产品标准的规定，经厂家检验部门检验合格后方可使用。
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厂商 |
OPTORUN |
OPTORUN |
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型号 |
OTFC1300C |
OTFC1300DB |
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序列号 |
S0019 |
S0567 |
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电子枪（双电子枪有无） |
JST-10F-2GUN |
JST-10F-2GUN |
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坩埚点数 |
24点+28点 |
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旋转泵 |
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VS2401 |
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机械升压泵 |
EH500 |
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扩散泵 |
冷冻U20Px2台 |
22’x2台 |
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冷冻机 |
无 |
Polycold PFC-670HC |
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离子枪（射频离子源） |
有 |
无 |
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光学检测有无（光控/精控） |
有 |
有 |
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基板加热heater有无 |
有 |
有 |
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回转 |
中心回转 |
中心回转 |
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价格 |
150万人民币（现状机，提货前付完全款，不含安装） |
100万人民币（现状机，提货前付完全款，不含安装） |
