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vaisala半导体折光仪 PR-33-S探头
紧凑型折光仪，采用超纯改性PTFE流通池主体，适用于半导体液体化学过程。通过 1/4 — 1 英寸的立柱或扩口接头连接
到工艺。
vaisala K-PATENTS® 半导体折光仪 PR-33-S 可监测洁净室环境和集成工艺工具（混合、清洁、蚀刻和 CMP）中晶
圆厂化学品的浓度。
设计
PR-33-S 由一个超纯的改性 PTFE 流通池主体和一根以太网电缆组成，任何标准 PoE（以太网供电）交换机都可以使用
该电缆将电力传输到传感器并将数据传输到计算机。PR-33-S 实时监测化学品浓度，并在化学品超出规格时提供以太网
输出信号和即时反馈。例如，可以配置低浓度和高浓度警报来控制和延长浴槽寿命。浓度是通过对溶液的折射率nD和
温度进行光学测量来确定的。
PR-33-S 直接与喇叭口或支柱配件在线安装。PR-33-S 结构紧凑，不含金属，占用空间很小。
关键要素
N.I.S.T. 可溯源校准，使用标准 RI 液体进行验证，并经过验证的程序。
获得CORE光学器件（美国号）US6067151）。
通过以太网的远程面板，用于数据记录和远程操作。
通信由标准 UDP/IP 协议构建。
过程温度范围：-20°C – 85°C （-4°F – 185°F）。
通过内置 Pt1000 和自动数字温度补偿实现快速过程温度测量。
主要优势
全数字化设备
vaisala K-PATENTS® 半导体折光仪 PR-33-S 用于过程控制和监测，并提供连续的以太网输出信号。设计紧凑，
设备直接在线安装。
在整个范围内进行准确稳定的测量
折射率 nD 1.3200–1.5300 的全测量范围，相当于 0-100% 重量。可选范围 nD 1.2600–1.4700 用于强 HF。
典型精度 R.I.+ 0.0002，通常相当于 0.1%（重量），例如水中的 HCl。
测量不受 PPM 范围内的颗粒、气泡、湍流或杂质的影响。
易于维护
无漂移。无需重新校准。无需机械调整。
技术数据
折射率范围 1.3200...1.5300
准确度 ± 0.1%
响应时间 1s
工艺温度 -20°C (-4°F)...85°C (185°F)
环境温度：-20°C (-4°F)...45°C (113°F)
保护等级 IP67
重量 1.2 kg
消耗功率 1W
vaisala半导体折光仪 PR-33-S探头
