产品详情
台湾菘启工业有限公司设计和制造温度测量解决方案，保证为您提供灵敏度、快速响应和一致的精度。并及时提供其创新的wafer晶圆解决方案。
TC WAFER则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布；同时，也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化，例如：升温，降温过程及延迟周期等！（温度的均匀与否，良率）
温度范围：
低温：-150 to 700°C（硅基胶粘剂）
高度：-150 to 1,200°C（焊接设计）
热电偶选型：
● Type K (精度级别±1.1°C or
0.4%) ，温度范围 -270 to 1,372°C
● Type N (精度级别±1.1°C or 0.4%)， 温度范围 -270 to 1,300°C
● Type E (精度级别±1.0°C or 0.4%) ，温度范围 -270 to 1,000°C
● Type T (精度级别±0.5°C or 0.4%) ，温度范围 -270 to 400°C
● Type R/S (精度级别±1.5°C or 0.25%) ，温度范围 -50 to 1,768°C
晶圆材质：
硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客户提供的白板的、涂层的或图案基底。可按客户要求定制基板、形状和尺寸。
主要规格：
4寸，6寸，8寸，12寸
扩展线：可选绝缘层材质，接头类型。密封的扁平电缆，可在大气中打到10-7托。长度由客户选
传感器引线：长达40英尺–可定制,
被覆材质：石英 陶瓷纤维 TEF
绝缘材料：石英，聚四氟乙烯，二氧化硅，陶瓷，聚酰*胺
线规：20 AWG – 40 AWG
a）主要型号有k/t/r(根据测温范围以及精度要求选型)
k型适合：0°c -600°c，精度级别为±1.1°c or ±0.4%
t型适合：200°c以下，精度级别为±0.5°c or ±0.4%
r型适合：0°c-1100°c，精度级别为0.1%
b)产品主要规格有：2寸/4寸/6寸/8寸/12寸
c)温接点可生产1~24点（但硅片越小测温点尽量减少，因为焊点需要打孔存在应力，另外需要排线，测温点越多难度越高）
d)使用环境为普通或者真空环境
e）晶圆材质：硅片或蓝宝石衬底片
