Hitachi离子溅射仪e1010

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1 7800.00元/台
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  • 发布日期:2022-03-25
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东莞市景瀚实业有限公司

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详细参数
品牌日立型号E-1010
类型离子溅射仪加工定制
用途显微镜重量28KG
产地日本

产品详情

场发射扫描电子显微镜

 

获取方式

进口。日立S-4800 FESEM、E-1010型离子溅射仪,HORIBA EX-250型能谱仪

主要用途

主要用于材料、生物体、高分子、无机非金属、金属材料等表面形貌观察与分析,以及微区元素分析。广泛应用于生物、能源、材料、化工、环境等研究。

主要功能及技术指标

主要功能:

1. 二次电子形貌(SEI):对试样进行表面形貌观察分析;
2. 背反射成分像/形貌像(BEI):对试样进行更深一层的形貌观察,并得到原子序数衬度;
3. 元素的定性定量分析(EDX):结合X射线能谱仪对试样表面某区域或某点进行成分定性和定量分析;
4. 图像分析处理系统(IPS):根据所得图像,对试样进行粒度、孔径大小、气孔分布等进行分析。

主要技术指标:HORIBA EX-250型能谱仪。分析元素范围:Be4~U92号元素。

(1)分辨率:1.0nm (15kV);1.0nm (1kV)

(2)加速电压:0.5 ~ 30kV,0.1kV/步

(3)放大倍率:×20 ~ ×800,000

(4)束流强度:1pA~2nA

(5)样品室和样品台:样品台驱动:3轴马达驱动;移动范围:X:0~50mm;Y:0~50mm;Z:1.5~30mm;T:-5~+70°;R:360°;样品尺寸:100mm

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其它备注

1. 主机(包括电子光学系统;完全气阀自动调节真空系统,配备三台离子泵、一台涡轮分子泵、一台机械泵;高位/低位二次电子检测器;3轴马达驱动I型样品台。

2. 自动变压器。

3. 冷却循环水系统。

4. HORIBA EX-250型能谱仪。

5. 日立 E-1010型离子溅射仪。

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