产品详情
场发射扫描电子显微镜
|
||
获取方式 |
进口。日立S-4800 FESEM、E-1010型离子溅射仪,HORIBA EX-250型能谱仪 |
|
主要用途 |
主要用于材料、生物体、高分子、无机非金属、金属材料等表面形貌观察与分析,以及微区元素分析。广泛应用于生物、能源、材料、化工、环境等研究。 |
|
主要功能及技术指标 |
主要功能:
1. 二次电子形貌(SEI):对试样进行表面形貌观察分析; 主要技术指标:HORIBA EX-250型能谱仪。分析元素范围:Be4~U92号元素。 (1)分辨率:1.0nm (15kV);1.0nm (1kV) (2)加速电压:0.5 ~ 30kV,0.1kV/步 (3)放大倍率:×20 ~ ×800,000 (4)束流强度:1pA~2nA (5)样品室和样品台:样品台驱动:3轴马达驱动;移动范围:X:0~50mm;Y:0~50mm;Z:1.5~30mm;T:-5~+70°;R:360°;样品尺寸:100mm (6) |
|
其它备注 |
1. 主机(包括电子光学系统;完全气阀自动调节真空系统,配备三台离子泵、一台涡轮分子泵、一台机械泵;高位/低位二次电子检测器;3轴马达驱动I型样品台。 2. 自动变压器。 3. 冷却循环水系统。 4. HORIBA EX-250型能谱仪。 5. 日立 E-1010型离子溅射仪。 |