产品详情
结构形式:1—4管卧式热壁型
硅片规格:2—8英寸硅片(或125×125mm、156×156mm方片)
温度范围:300~1100℃
恒温区长度及精度:200ram—1000mm(±1℃/24h)
淀积薄膜均匀性:片内±5% 片间±5% 批间±5%
沉积膜厚度:600~15000A
系统极限真空度:优于1Pa
工作压力范围:20~133Pa闭环控制
控制方式:工业微机
送料装置:悬臂推拉舟、软着陆系统
淀积薄膜分类:Si 3N4、SiO2、PSG、Poly-Si膜
真空泵:罗茨泵、机械泵
工艺气路:5路气/管。VCR接口
40KHz脉宽调制AE高频电源
装片量:200片/舟