真空晶圆传输模块 Wafer Vacuum Transfer Module (VTM300)

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  • 发布日期:2024-09-04
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详细参数
品牌HONGHU型号HHHonghuself-researched
类型晶圆传输模块材料碳钢
加工定制产品认证ISO9001ISO14001SEMIS2

产品详情

Wafer Vacuum Transfer Module (VTM)

The Vacuum Transfer Module (VTM) is used in vacuum processes such as wafer etching, deb (CVD, PVD, ALD), etc. Due to the bent requirements of the process environment, the transfer equipment VTM needs to meet ultra-high vacuum, ultra-low vibration, corrosion resistance, high-temperature resistance, and other requirements.

Item

HH400

HH500

HH600

HH700

HH800

Frame

Welded tubular construction with support,The surface is coated with white paint

Wafer Transport Plane

1100mm(Per SEMI std.E 21-91)

Process Facets

Up to 3

Up to 3

Up to 4

Up to 5

Up to 6

Vacuum Robot

HHVRD3/4

HHVRD3/4

HHVRD3/4

HHVRD3/4

HHVRD3/4

Arm Blade

Customized according to customer specifications,;Optional:1 Blade,2 Blade and 4 Blade;Material optional

Load Locks 

Provides Load Locks(1 or 2) and Slot(1 or 2 or 4 etc) Number customization

Lid

View Ports Optional

Lid Lift Mechanism

Lid Lift Mechanism

Lid Lift Mechanism

Lid Lift Mechanism

Option:Cooling Station,VPA Station or Separating Station 

Optional Chamber

AWC

< 0.05mm

< 0.05mm

< 0.05mm

< 0.05mm

< 0.05mm

Base Vacuum

108 Torr

108 Torr

108 Torr

108 Torr

108 Torr

Leak Rate

<1 x109std.cc/sec  He

<1 x109std.cc/sec  He

<1 x109std.cc/sec  He


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