产品详情
介质要求:非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类:内置了98种气体,请参考“产品资料”气体兼容表
一台设备内置所有气体,用户可现场选择
量程:从-0.5SCCM~0.5SCCM 到-3000SLPM~3000SLPM
量程比:200:1
显示流量:-FS~FS
显示屏:带按键,标准为LCD显示屏,可选TFT彩色显示屏
显示方式:同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精度:± (0.8%RD+0.2%FS),RD-读数 FS-双向满量程
高精度:±(0.4%RD + 0.2%FS),选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
重复性:± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移:0.02% FS / ?C / Atm
响应时间:100ms(可调) 预热时间 lt;1s
标定工况:25?C & 100kPa 绝压、20?C & 100kPa 绝压、0?C & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度:-10 ~ +50 ?C
工作湿度:0-,无冷凝
标准工作压力:1MPa 表压
标准极限耐压:1.2MPa 表压