产品详情
质量流量计是半导体制造设备中非常关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。
HORIBA STEC, 作为全球范围内市场占有率超过35%*1的流量计生产商, 长期以来始终如一的为半导体工业提供高质量、多功能的产品。现在，手携全新的技术，HORIBA STEC 正在向全球推广新型的质量流量控制器： Z500系列。
相对于旧有的型号，Z500X 系列实现了全新的突破， 而且注定将改变流量控制技术的未来。在提供客户所需流量控制的所有功能的同时, 实现了复合气体、复合流量的转换。客户可以根据制程需要，轻松地更改流量计气体种类和量程*2。
此外，藉由产品材料的技术革新， Z500系列全面满足了 RoHS 绿色产品的设计要求，为客户提升产品价值。
高性能的Z500系列流量计，将带给您更多。全世界正见证着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。
*1 参考 VLSI's 2007 研究报告。
*2 复合气体、复合流量功能。
特征
高精度：设定流量值±1.0%.
MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的， 此技术保证在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度， HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统， 并在大量实验的基础上，采集各种制程气体的校准数据。
高速响应
SEC-Z500X 使用了最新开发的“可更改PID”系统，保证任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时，PID数据将进行自动的调整，即使在气体种类和流量范围变更后，PID数据也能够自动优化，实现高速响应。
复合气体、复合流量方案
HORIBA STEC 新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实. 我们的 Z500 设置软件简单、易用. 更好的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。 如此一来，就可以很大程度上减少客户备品的数量，同时节省了时间和成本。
HORIBA STEC
STEC SMT-3000模拟橡胶密封质量流量计
STEC SFC-480模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEF-11模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-Z10D模拟金属密封质量流量计
STEC SEC-PV2000模拟金属密封质量流量计
STEC SEC-PV1000模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7440模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7340模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7350模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-7330模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-4600模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-4500模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-4400模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-3400S模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-400模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-300模拟橡胶密封质量流量计
STEC SEC-E40MK3低成本质量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本质量流量控制器
STEC LF-F/LV-F系列液体微小质量流量计/控制器
STEC SEC-400MK3低成本质量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本质量流量控制器
STEC SEC-N100数字式质量流量控制器
STEC SEC-Z700热感传感器，压力钝感质量流量计
STEC SEC-Z500X多范围/多气体的数字式质量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高温应用质量流量控制器
STEC SEC-2000高温的质量流量控制器
STEC SEC-8000高温应用质量流量控制器
