主营产品：上海谐波减速机|哈默纳科|harmonic|NIKUNI|山洋
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| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | SHD-20-100-2SH |
| 类型 | 谐波减速器 | 载荷状态 | 中等冲击载荷 |
| 传动比级数 | 三级 | 轴的相对位置 | 立式加速器 |
| 传动布置形式 | 摆线式 | 加工定制 | 是 |
| 样品或现货 | 现货 | 齿面硬度 | 软齿面 |
| 布局形式 | 三环式 | 用途 | 减速机 |
| 输入转速 | 3000rpm | 额定功率 | 111kw |
| 输出转速范围 | 50rpm | 许用扭矩 | 691N.m |
| 使用范围 | 化工 | 减速比 | 46 |
| 产地 | 日本 | ||
以下，按着化学气相沉积的研发历程，分别简介「常压化学气相沉积」、哈默纳科蒸汽炉谐波传动SHD-20-100-2SH「低压化学气相沉积」、及「电浆辅助化学气相沉积」：
1、 常压化学气相沉积(AtmosphericPressureCVD；APCVD)
最早研发的CVD系统，顾名思义是在一大气压环境下操作，哈默纳科蒸汽炉谐波传动SHD-20-100-2SH设备外貌也与氧化炉管相类似。欲成长之材料化学蒸气自炉管上游均匀流向硅晶，至于何以会沉积在硅晶表面，可简单地以边界层(boundarylayer)理论作定性说明： 当具黏性之化学蒸气水平吹拂过硅芯片时，硅芯片与炉管壁一样，都是固体边界，哈默纳科蒸汽炉谐波传动SHD-20-100-2SH因着靠近芯片表面约1mm的边界层内速度之大量变化(由边界层外缘之蒸气速度减低到芯片表面之0速度)，会施予一拖曳外力
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