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湖州压缩空气全项检测报告
特种气体是工业气体中的一个新兴门类,是随着近年来国防工业、科学研究、自动 化技术、精密检测,特别是微电子技术的发展而发展起来的。20 世纪 80 年代,电子产 业的兴起推动特种气体的需求提高,外资开始通过收购、新设等方式建立气体公司进入 中国气体市场,向国内气体用户提供气体产品,随着气体供应商供气模式的引入,国内 企业原有的气体车间、气体厂和供气站等纷纷发展为独立的气体公司,国内特种气体市 场逐步发展起来。
从应用领域划分,特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种,广泛应用 于电子半导体、化工、医疗、环保和高端装备制造等领域。其中,电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体,目前,我国电子气体品种基本齐全,但数量和质量与 发达国家相比,尚有较大差距;高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体,对于不同类别的气体,纯度指标不同,大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域;标准气体严格意义上应称为标准校正气体,是一种高度均匀, 稳定性良好和量值准确的气体,可分为单元标准气体和多元标准气体,目前标准气基本 满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域的需求,但对活性较强的标准气, 国内尚无法彻底解决量产问题。
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在 2018 年我国特种气体年销售额中,电子行业约占 41%,石油化工约占 39%,医疗 环保约占 10%,其它约占 10%。
广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体,是最重要原材料之一, 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺,被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。