产品详情
2、通过采用增强主轴径向刚性的同步主轴™,提高了加工质量的稳定性。另外,可搭载对圆晶有更好清洗效果的特殊选配水气双流体离心清洗机构
3、双主轴切割机的标准机型 可根据产品参数(Device Data)设定切割水流量,并且在加工中可监视流量,时常实现稳定的流量管理
4、通过搭载15英寸LCD触摸屏及图形用户接口GUI(Graphical User Interface),提高了操纵性。加工状况,设备的各种状态均可在控制画面上同步显示,只需触摸控制画面上的按钮,就可以简单地完成操作。此外还安装了观察台,可以在全自动操作时,取出/观察切割后的晶圆5.使用双NCS,提高原点设定速度在Z1轴与Z2轴上同时采用了NCS(非接触式原点设定),从而减少了原点设定时
间,提高了加工效率。
设置2台显微镜,缩短了切割槽检查时间
两根主轴上分别配置了1台专用高倍显微镜,大幅度地缩短了在加工过程中检查切
割槽的时间,达到了提高效率的目标。
可以按不同被加工物参数,分别设定切割水的流量。
在加工过程中可对流量实施监控,能够稳定地控制切割水流量。
除上述型号外,我司还提供同品牌不同型号划片机,有意咨询请联系!
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