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净化工程
净化工程是指在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
净化工程主要分为两类
乱流式 (Turbulent Flow)
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板乱流式回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
层流式(Laminar)
层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
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洁净度等级参照表 | |||||||
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空气洁净度等级 |
大于或等于表中粒径的最大浓度限值（pc/m3） | ||||||
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ISO标准 |
中国标准 |
0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
|
1级 |
|
10 |
2 |
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|
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|
2级 |
（一级） |
10 |
24 |
10 |
4 |
|
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|
3级 |
（五级） |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
|
4级 |
（十级） |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
|
|
5级 |
（百级） |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
|
6级 |
（千级） |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
|
7级 |
（万级） |
|
|
|
352000 |
83200 |
2930 |
|
8级 |
（十万级） |
|
|
|
3520000 |
832000 |
29300 |
|
9级 |
（三十万级） |
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35200000 |
8320000 |
293000 |
