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如图所示，螺杆真空泵内装有一对平行的螺旋状的转子（1和2），其中一件转子的旋转方向为右旋，另一件为左旋。两个转子在泵体（9）内通过一对齿轮（3）保持同步反向旋转。转子与转子之间、转子与泵体之间没有磨擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了密封腔（4），密封腔的个数等于转子的螺旋圈数。两个转子在按图中方向旋转时，与吸气口（5）相连的密封腔的空间逐渐变大，气体被吸入并被传送到排气侧，排气侧的密封腔（6）空间在旋转过程中逐渐变小，气体被压缩到排气口（7）。长时间运转时需向泵体及端盖的夹套（8）内通入适量的冷却水以对泵进行冷却。因压缩热主要在排气侧（6）产生，为了充分冷却转子，在多数工况下可以将适量的空气或其它合适的气体通过掺气口（10）导入泵腔内。
螺杆真空泵特点：
1、对被抽系统无污染，可获得洁净真空。
2、泵腔内无油，非常容易实现对溶剂的回收或者排入焚烧炉内焚烧。
3、结构紧凑，占地面积小。
4、单泵即可达到40Pa~5Pa的极限压力，工作范围较宽。
5、因工作过程中无废油、废水的排放，对环境无污染。
6、对冷却水的要求较低，对于泵的冷却，普通的循环水即可满足要求，且冷却水量较小。
7、根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式真空泵机组，可大大提高低压区的抽气速率并减小功耗。
8、螺杆真空泵的级间无需通道，是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，在抽除9、可凝性气体及粉尘等时不易堵塞且泵腔清洗非常方便。
10、螺杆真空泵可抽取易燃、易爆、有毒等可疑性气体。
