金刚石提纯设备气体质量流量控制器 ALICAT质量流量控制器性能
- 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（参见零件编号标签）
- 可调比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）
- 校准精度（NIST可溯源）：±（1.5%读数+0.5%满量程）
- 可重复性：0.5%满量程
- 标准控制器响应时间常数：100ms（可利用PID调节功能调节）
- 预热时间：70ms，达到完整精度
产品详情
金刚石提纯设备气体质量流量控制器 ALICAT质量流量控制器，能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商（OEM）无应力设备集成而设计的轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特特有的快速阀门控制。
- 可靠。气体质量流量控制器绝不会让您感到失望，NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像第一天一样。
- 灵敏。您不会再因为压力峰值而毁了一整天。气体质量流量控制器具有业内领先的控制速度和阀门调节，能带给用户的益处将远远超出预期。
- 兼容。气体质量流量控制器应用范围相当广，轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性。
金刚石提纯设备气体质量流量控制器 ALICAT质量流量控制器工作条件
- 兼容气体：空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮（可通过串行连接选择气体）；订购时还可以选择氦气或氢气校准（仅使用一种气体）
- 工作温度：0°C至+50°C
- 内部压力（静态）：对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）
- 耐受压力：175 psig（190 psia）
- STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）
