金刚石提纯设备气体质量流量控制器 ALICAT质量流量控制器性能
- 可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(参见零件编号标签)
- 可调比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
- 校准精度(NIST可溯源):±(1.5%读数+0.5%满量程)
- 可重复性:0.5%满量程
- 标准控制器响应时间常数:100ms(可利用PID调节功能调节)
- 预热时间:70ms,达到完整精度
主营产品:质量流量计 质量流量控制器 科里奥利质量流量控制器
¥6890.00
¥5980.00
¥9980.00
¥9980.00
¥9800.00
详细参数 | |||
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品牌 | ALICAT | 型号 | MC-500SCCM-D |
原理 | 质量流量计 | 用途 | 气体流量计 |
工作压力 | 50 | 适用介质 | 气体 |
工作温度 | 0-50 | 测量范围 | 0-1000 |
精度等级 | 1 | 测量精度 | 1 |
安装形式 | 参考说明 | 流量范围 | 1-1000 |
加工定制 | 是 | 外形尺寸 | 是 |
金刚石提纯设备气体质量流量控制器 ALICAT质量流量控制器工作条件
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