| 品牌KOFLOC | 型号3660 |
| 类型质量流量控制器 | 测量范围0-100m3/h |
| 精度等级0.01 | 适用介质气体&液体 |
产品详情
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日本小岛KOFLOC 3665质量流量控制器现货
3665系列设计***，成本较低。***用于各个不同的领域
从实验室和研究开发项目 到各种仪器设备的标准采用机种
发挥了很好的实际效果，另外还有有各种衍生功能可选
真空镀膜 晶圆测试KOFLOC-3660系列质量流量控制器 KOFLOC中国性能参数
| 产品详情 |
3660 |
3665 |
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量程(N2) |
10SCCM-20SLPM |
30-150SLPM |
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精度 |
±1.0%FS |
±1.5%FS |
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有效范围 |
2-*** |
5-*** |
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重复性 |
±0.5%FS |
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响应时间 |
2秒 |
3秒 |
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动作压差 |
50-300Kpa |
150-300Kpa |
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另有低压差、高压差产品可选 |
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耐压 |
1.0Mpa |
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泄漏率 |
1*10-8pa·m?/s以下 |
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温度范围 |
5-45℃ |
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湿度范围 |
10-90%RH(不能结露) |
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材质 |
本体SUS316、SUS316L、磁性材料等 |
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密封圈VITON，选配NBR或FKM |
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电气接口 |
DB9 |
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模拟信号 |
0-5V输入/输出 |
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供电 |
+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)250mA； |
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管路连接 |
标配1/4F9 |
标配3/8F9 |
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选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 |
选配1/2F9、3/8UJR、RC3/8 |
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重量 |
约1000g |
约1500g |
真空镀膜 晶圆测试KOFLOC-3660系列质量流量控制器 KOFLOC中国电气连接
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针脚/颜色 |
定义 |
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1针脚/棕色 |
阀门全开/全闭 |
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2针脚/白色 |
0-5V输出 |
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3针脚/红色 |
+15VDC |
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4针脚/黑色 |
电源COM |
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5针脚/黄色 |
-15VDC |
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6针脚/灰色 |
0-5V输入 |
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7针脚/绿色 |
输出COM |
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8针脚/兰色 |
输入COM |
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9针脚/紫色 |
阀门电源输出 |
日本小岛KOFLOC 3665质量流量控制器现货
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：在使用质量流量控制器的时候，进口前方加“ON/OFF电磁阀或手动切断阀”。
四：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
五：通气体时，请先开气源，后设定值。
六：切勿在没有通气的情况下，对流量控制器进行设定a。
七：使用完以后，请将流量控制器值归零或断电。
八：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下、设定值是0的状态 再操作。
