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| 数量(件) | 面议 |
| 1 |
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| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 规格型号 | 4022.637.22711 | |
| 编号 | 齐全 | 计量单位 | 1件 |
| 付款方式 | 面议 | 参考价格 | |
| 价格单位 | 人民币 | 供货量 | 不限 |
| 说明书，报价手册及驱动 |
 |
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| 产地 | 国外国外 | 发货地 | 全国全国 |
ASML 4022.637.22711
ASML 4022.637.22711设备简介及参数解析
一、产品概述ASML 4022.637.22711是荷兰半导体设备巨头ASML公司旗下的一款自动化组件，属于其先进制造系统中的核心模块。该设备主要用于极紫外（EUV）光刻机的精密控制与光学校准环节，适用于7nm及以下制程芯片的生产线。作为宁德润恒自动化供应链中的关键产品，该组件具备高度集成化与稳定性，为半导体制造提供可靠的技术支持。
二、核心参数解析
1. 光学精度
○ 分辨率：≤13nm（EUV波长下）
○ 对准精度：±0.5nm（3σ）
○ 反射率控制：99.9%以上（多层反射镜系统）
2. 机械性能
○ 运动精度：X/Y轴定位误差≤0.1μm
○ 重复精度：≤0.05μm（百万次循环测试）
○ 负载能力：大承载200kg（动态）
3. 电气与控制系统
○ 控制单元：ASML自主研发的TWINSCAN控制系统（V6.0版本）
○ 通讯协议：SECS/GEM半导体设备标准接口
○ 电源要求：AC 380V±10%，50Hz，功率≥15kW
4. 环境适应性
○ 工作温度：20℃±1℃（恒温控制）
○ 湿度范围：30%~50% RH（无冷凝）
○ 洁净度等级：ISO Class 1（相当于FED STD 209E Class 1）
三、技术优势与应用场景
● 纳米级精度：支持EUV光刻技术，满足下一代芯片制程的严苛要求，适用于逻辑芯片与存储芯片的先进制造。
● 高可靠性：采用冗余传感器设计与闭环反馈系统，确保设备长期运行稳定性。
● 模块化设计：便于集成至ASML TWINSCAN系列光刻机及其他自动化生产线。
● 智能维护：内置诊断系统，实时监测关键部件状态，支持预防性维护。
四、供应商信息宁德润恒自动化作为ASML在华授权合作伙伴，专注于半导体设备及相关核心组件的供应与技术支持，提供设备安装、调试、维修及备件服务。如需详细技术参数或定制化解决方案，可联系宁德润恒自动化官方渠道。
ASML 4022.637.22711
联系人：吴经理 手机：18596688429（微信同号）邮箱：841825244@qq.com
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