PPB级超高纯半导体防腐专用PFA

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  • 发布日期:2024-10-18
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上海 雍昌环保科技有限公司

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详细参数
品牌 涓微新材 规格型号 完善
编号 齐全 计量单位 1件
付款方式 面议 参考价格
价格单位 人民币 供货量 不限
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产地 上海浦东新区 发货地 上海浦东新区

产品详情

PPB级超高纯半导体防腐专用PFA ,应用石英石晶 圆花篮,半导体清洗槽,半导体设备
超高纯度 接触晶圆的防腐材料金 属离子含量低于PPB级, 否则会污染晶圆 优秀防腐性 需要有优秀的耐酸碱性能, 抵御各类强酸强碱,防止 腐蚀造成金属离子析出厚度及致密性 高厚度和致密性,保证 研磨液/清洗液不会渗透 进入涂层接触基体金属 硬度及耐磨性 硬度及韧性保证部件可进 行二次加工从而保证精度, 耐磨性保证了部件的寿命 且不能过硬划伤晶圆
产品案例
8/12寸晶圆花篮由于强度 载重原因,部分无法使用 超高纯注塑材料,改用超 高纯氧化硅/氧化铝陶瓷材 料,但表面容易划伤晶圆, 且接触酸容易造成花篮腐 蚀损坏
叉手在转移晶圆的同时, 会造成晶圆划伤,需要表 面进行防护,同时材料需 要有防腐性保证飞溅的酸 碱不损坏转运臂

 纯度:PPB级 
厚度:400-800µm 
耐酸:氢氟酸+硝酸 
硬度:4H

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