产品详情
腔体采用不锈钢材料,保证系统材料的稳定性;
采用15.56Mhz射频电源,清洗更彻底;
支持自动手动模式,方便客户灵活操作;
智能自动模式:可以设置为2次清洗,2次进气,每次清洗时间,进气稳定时间都可以设定;
手动模式:手动模式下,系统可以启动定时功能,清洗时间到,系统自动停止工作;
气压稳定功能(选配):根据需要可以配置输出比例阀控制气体的流速,均衡腔体内压力;
智能气路功能(选配):根据需要,可以配置质量
流量计系统,可以设置不同的清洗段落配置不同气体的流速;
等离子体清洗不会在表面产生损伤层,表面质量得到保证;不污染环境,保证清洗表面不被二次污染。