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IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 深圳市天铉真空技术有限公司
功能丰富的 IC6 提供测量精度
IC6 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多独特的功能，可帮助您实现沉积过程的价值。IC6 使用我们的 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的佼佼者。IC6 具有其他石英晶体控制器无法比拟的性能、品质和功能，赋予您的过程卓越的可重复性。
典型应用
零件号
规格
测量性能
频率分辨率
±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/测量 (1)
±0.00433 Å
测量频率范围
6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2)
0.5%
测量周期
0.10 s
多个测量值平均
0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
设计功能
Auto Z
yes
自动色调
yes
共沉积
yes (up to 6 sources)
过程配方和数据管理
材料计划
32
过程层（每个过程）
200
过程
50 (processes can be bed together)
USB 存储器
yes
数据记录
yes
硬件功能
传感器 (3)
单
8
双 / CrystalTwo®
4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix®
8
Crystal 12®
8
通用
8
