多晶硅实验炉|多晶硅铸锭实验设备

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产品详情

\r\r\r

\r多晶硅实验炉,多晶硅铸锭实验炉,多晶硅熔炼实验炉,多晶硅实验设备。\r<\/p>\r

\r太阳能级硅锭制造,也可以用于其他半导体材料提纯。\r<\/p>\r

\r特点\r<\/p>\r

\r控制精度高,结晶速度自由调节\r<\/p>\r

\r采用感应熔炼法,增加溶液搅拌,熔炼速度快\r<\/p>\r

\r定向凝固保温采用特制加热电源\r<\/p>\r

\r具有三相电流平衡,维护费用低\r<\/p>\r

\r采用恒温度控制仪\r<\/p>\r

\r主要技术参数\r<\/p>\r

\r熔炼容量:3-25KG  \r<\/p>\r

\r电源功率:50-160KW      \r<\/p>\r

\r升温速率:40℃/Min    \r<\/p>\r

\r炉温均匀性:±5℃       \r<\/p>\r

\r极限真空度:1.0×10-3Pa     \r<\/p>\r

\r压升率:    0.01PaL/S      \r<\/p>\r

\r额定充气压力:0.05Mpa      \r<\/p>\r

\r铸锭方式:下降定向凝固    \r<\/p>\r

\r伺服控制范围:0.01mm-6mm/Min           \r<\/p>\r

\r定向凝固速率:0.03mm-0.5mm/Min          \r<\/p>\r

\r坩埚上升速度:80-100 mm/Min       \r<\/p>\r<\/div>\r<\/div>\r<\/div><\/div>

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