产品详情
高压气体流量计是七星电子生产的数字型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号，0～5V模拟信号，4～20mA或0~20mA模拟信号，可以使用双电源（±8～±16 VDC）或单电源（+14～+28 VDC）。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件Digital MFC。US700产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，金属表面符合SEMI标准的要求。
US700 MFC默认配置为：
MAC地址：32；
RS485通信波特率:19200；
控制方式：0～5V电压控制。
更多细节请参考产品附带光盘中的“US系列MFC通讯协议”。
标准状况
出口压力：大气压
气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量单位为：
SCCM：标准毫升/分钟
SLM：标准升/分钟
标准状态：温度0?C (273.15K)
气压：101325Pa (760mm Hg)
在标准状态下，气体的密度是一个常数，该密度乘以标准状态下的体积就是质量数，所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
MFC/MFM的标准安装位置为水平安装，同时为客户提供垂直（进气口向上或向下）、平躺及其它位置的安装，为保证最高的测量精度，用户购买时应该说明设备的安装方式。
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