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低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子 物质或使物质转变成低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev,适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得快。作为环境污染处理领域中的一项具有潜在优势的高，等离子体受到了其他地方相关学科界的高度关注。
低温等离子体技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油，制药，油漆，印刷和涂料等行业产生的挥发性废气也日渐增多，这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生危险；另外工业烟气的无控制排放使大气环境日益恶化，酸雨的危害引起了各国的重视。由于大气污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。降解挥发性污染物传统的处理方法如吸附、吸收、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光氧催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。但由于等离子体是一门包含放电物理学、放电化学、化学反应工程学及真空技术等基础学科之上的交叉学科。因此，能成熟的掌握该技术的单位非常少。大部分宣传采用低温等离子技术处理废气的宣传都不是意义上的低温等离子废气处理技术。
