主营产品：上海谐波减速机|哈默纳科|harmonic|NIKUNI|山洋
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| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | CSD-17-50-2A-R, |
| 类型 | 圆柱齿轮减速器 | 载荷状态 | 强冲击载荷 |
| 传动比级数 | 双级 | 轴的相对位置 | 立式加速器 |
| 传动布置形式 | 摆线式 | 加工定制 | 是 |
| 样品或现货 | 样品 | 齿面硬度 | 软齿面 |
| 布局形式 | 三环式 | 用途 | 变速机 |
| 输入转速 | 3000rpm | 额定功率 | 360kw |
| 输出转速范围 | 50rpm | 许用扭矩 | 691N.m |
| 使用范围 | 化工 | 减速比 | 34 |
| 产地 | 日本 | ||
也就是说，即使晶圆大到6或8吋，但光罩大小还是小小的1~2吋见方哈默纳科光罩制备谐波CSF-17-80-2A-R ，一则光罩制备快速，二则小面积对准的问题也比较少；只是要曝满整片晶圆，要花上数十次「对准→曝光→移位」的重复动作。但即便如此，因每次「对准→曝光→移位」仅费时1秒左右，故一片晶圆的总曝光时间仍控制在1分钟以内哈默纳科光罩制备谐波CSF-17-80-2A-R，而保持了工厂的高投片率(highthrough-put；即单位时间内完成制作之硅芯片数。）
晶圆上微米厚度等级的光阻，是采用旋转离心（spin-coating）的方式涂布上去。光阻涂布机如图2-8所示。其典型程序包括：
(1)晶圆表面前处理(pre-baking)：即在150°C下烘烤一段时间。哈默纳科光罩制备谐波CSF-17-80-2A-R若表面无氧化层，要另外先上助粘剂(primer)
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