产品详情
上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 离子源, 100%原厂原装进口.
KRI 射频离子源 RFICP 380 属于大面积射频离子源, 离子束流: >1500 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.
离子束可聚焦, 平行, 散射.
采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.
通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.
美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 特性:
1. 大面积射频离子源
2. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求
3. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求
4. 离子束流: >1500 mA
5. 离子动能: 100-1200 V
6. 中和器: LFN 2000
7. 采用自动控制器, 一键自动匹配
8. RF Generator 可根据工艺自行选择离子浓度, EX: 1kW or 2kW
9. 离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装
10. 栅极材质钼和石墨, 坚固耐用
11. 通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others
伯东 KRI 射频离子源 RFICP 380 技术参数:
射频离子源型号 |
RFICP 380 |
Discharge 阳极 |
射频 RFICP |
离子束流 |
>1500 mA |
离子动能 |
100-1200 V |
栅极直径 |
30 cm Φ |
离子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
流量 |
15-50 sccm |
通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 |
< 0.5m Torr |
长度 |
39 cm |
直径 |
59 cm |
中和器 |
LFN 2000 |
美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 组成构件:
1. 底座风冷风扇
2. Grid ((柵級)) 模組
3. RF Coil (射频铜管)
4. 石英杯
5. LFN 2000 (灯丝) 中和器