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日本ygkcop表面粒子扫描仪YPI-MN

数量(台) 价格
1 1.00元/台
  • 最小起订： 1台
  • 发货地址： 广东 深圳市
  • 发布日期：2021-03-01
  • 访问量：738
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最新发布

第8年

深圳市秋山贸易有限公司

实名认证 企业认证
  • 联系人：黄婧文
  • 手机：18875910180
  • 电话：0755-86000001
  • 营业执照：已审核 营业执照
  • 经营模式： 贸易公司-私营有限责任公司
  • 所在地区：广东 深圳市
  • 家家通积分：10分
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详细参数
品牌ygkcop型号YPI-MN
加工定制否

产品详情

日本ygkcop表面粒子扫描仪[YPI-MN]

YPI-MX-ΘDC 

YPI-MN紧凑型高性能晶圆表面检测设备

紧凑而高性能的晶圆表面检测设备。表面粒子扫描仪。
新开发的高性能，节省空间的类型。
安装面积为YPI-200的50％。
它是一种紧凑的表面检查
设备，可以根据使用模式进行移动，精度高达0.15μm，同时又节省了空间。
作为可选功能，可以为透明基板安装前/后分离功能（通过消除后表面的影响来执行前表面的测量）。
测量结果可以通过检测图大小，历史和异物图像显示并记录在附带的P / C上，并带有颗粒数量。 

设备规格

工作尺寸200 x 200 mm，φ200mm（可提供φ300mm测量* 1）
最小检测到的颗粒尺寸（Si PSL裸颗粒）Si晶圆0.152μm
透明玻璃基板0.3μm（需要可选设备）
激光/检测单元使用405 nm（蓝色激光）和光电倍增管（PMT）
扫描方式XY，螺旋扫描
工作提供方法手动的
设备尺寸（宽x深x高）W548 x D572 x H962（mm）通过P / C
设备重量90kg（不含P / C）
电源AC100V 15A
                   * 1当支持φ300mm时，深度尺寸会改变。
 
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