主营产品：扩散炉.链式炉.隧道炉.马弗炉.炉体
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| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 福润德 | 型号 | frd-006 |
| 加工定制 | 是 | 产地 | 青岛 |
扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
扩散炉技术指标： t可处理硅片尺寸：212英寸 t外型形式：卧式14管结构 t工作温度：200℃1300℃ t恒温区长度及精度：200mm1100mm≤±0.5℃ t单点温度稳定性、重复性： ≤±1℃/24h t温度斜变： 可控升温速率15℃／min t可控降温速率： 5℃／min t送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆式推拉舟 t气路系统：15路工艺气体／管 t气体控制：全自动MFC t控制方式：工控机、触摸屏
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