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工作温度：300~1300℃ ◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制 ◆恒温区长度：1080mm（可根据用户要求定制） ◆温区精度（静态闭管测试）： 600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃ 300℃≤工作温度≤600℃：±1℃ ◆单点温度稳定性（静态闭管测试）： 600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃/24h 300℃≤工作温度≤600℃：±1℃/24h ◆温度斜变能力： 大可控升温速度（300～1300℃）：15℃/min 大降温速度（1300～900℃）：5℃/min ◆气体流量设定精度：±2％FS ◆气路系统气密性：1×10-7PA.m3/s ◆自动送料装置行程：~2000mm 速度：5~1000mm/min SiC浆承重 19kg ◆装片数量 400片/管 ◆净化台洁净度 100级（10000级厂房） ◆三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz； ◆冷却水：2～4Kgf/cm2，～8L/min 太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式 ◆闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，偏磷酸、CL2分开收集处理；工艺废气集中收集从尾部定向排出；各种工艺气体可分开送 入石英管内，工艺气体（三氯氧磷）可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量 完全受保护。 ◆自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外进口，可在达到±0.25℃的控制精度。 ◆送取片方式：悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉机构受腐蚀，影响推拉机构的精确性。
