产品详情
型号:KJ-T1700-L6014LB3-3Z
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科佳电炉是一家专注于高温加热设备研发,生产和销售的厂家,产品使用用户有中科院,中建材院等国家科研机构,北京科技大学,华南理工大学等高校实验单位,蒂森克虏伯,中核高通,白鸽股份等集团企业用户, 我司拥有丰富电炉产品设计研发生产经验,完善的售前售后服务体系,可根据客户需求提供不同尺寸及型号的高精度电炉及窑炉产品,因产品型号与种类众多,欢迎广大用户直接来电咨询!
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产品简介:?
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科佳1700℃三温区三通道CVD系统采用高纯度硅钼棒为发热元件;双层风冷结构;高纯氧化铝纤维真空吸附一次成型;刚玉管外径为60mm。
三个智能PID30段温控表程序化控温。
主要应用于CVD实验,荧光粉制备,真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境. 是各大材料实验室必备的理想设备之一。
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技术参数:
产品名称
1700度三温区三通道CVD系统
产品型号
KJ-T1700-L6014LB3-3Z
炉管尺寸
Φ60×1400mm
加热区长度
220-220-220mm
工作温度
1600℃(此温度为长期加热温度)
最高温度
1700℃
温控方式
三个温控系统单独控制,都是采用PID方式调节30段可编程自动控制;(用户可选配液晶触摸屏显示)
温控精度
±1℃(具有超温及断偶报警功能)
加热速率
0~15℃/分
加热元件
硅钼
控温仪表
厦门宇电
工作电压
AC220V (电路电压用户可选择定制)
最大功率
10KW
炉膛材料
采用进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强
法兰接头
标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀。
密封系统
两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min
真空泵
双极旋片机械泵:10^-2 torr
分子泵机组:10^-5 torr ? 泄漏率<5 mtorr / min
数字真空显示计
进口CVM-211数显真空计,已安装在不锈钢法兰上,测量范围为10-4Torr~1000Torr ?
混气系统
三个质子流量计
三路质子量程分别为
0-500 sccm
0-500 sccm
0-500 sccm
内部安装有一混气罐
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炉管
刚玉炉管
温度测试元件
B型热电偶测温
整机重量
180KG
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 我司提供和产品相关的配件,所有产品均可按客户要求定制。
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科佳电炉是一家专注于高温加热设备研发,生产和销售的厂家,产品使用用户有中科院,中建材院等国家科研机构,北京科技大学,华南理工大学等高校实验单位,蒂森克虏伯,中核高通,白鸽股份等集团企业用户, 我司拥有丰富电炉产品设计研发生产经验,完善的售前售后服务体系,可根据客户需求提供不同尺寸及型号的高精度电炉及窑炉产品,因产品型号与种类众多,欢迎广大用户直接来电咨询!
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科佳1700℃三温区三通道CVD系统采用高纯度硅钼棒为发热元件;双层风冷结构;高纯氧化铝纤维真空吸附一次成型;刚玉管外径为60mm。
三个智能PID30段温控表程序化控温。
主要应用于CVD实验,荧光粉制备,真空或气氛烧结、基片镀膜等要求加热温度较高的实验环境. 是各大材料实验室必备的理想设备之一。
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技术参数:
产品名称
1700度三温区三通道CVD系统
产品型号
KJ-T1700-L6014LB3-3Z
炉管尺寸
Φ60×1400mm
加热区长度
220-220-220mm
工作温度
1600℃(此温度为长期加热温度)
最高温度
1700℃
温控方式
三个温控系统单独控制,都是采用PID方式调节30段可编程自动控制;(用户可选配液晶触摸屏显示)
温控精度
±1℃(具有超温及断偶报警功能)
加热速率
0~15℃/分
加热元件
硅钼
控温仪表
厦门宇电
工作电压
AC220V (电路电压用户可选择定制)
最大功率
10KW
炉膛材料
采用进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强
法兰接头
标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀。
密封系统
两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),最大漏气率6 mtorr/min
真空泵
双极旋片机械泵:10^-2 torr
分子泵机组:10^-5 torr ? 泄漏率<5 mtorr / min
数字真空显示计
进口CVM-211数显真空计,已安装在不锈钢法兰上,测量范围为10-4Torr~1000Torr ?
混气系统
三个质子流量计
三路质子量程分别为
0-500 sccm
0-500 sccm
0-500 sccm
内部安装有一混气罐
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炉管
刚玉炉管
温度测试元件
B型热电偶测温
整机重量
180KG
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 我司提供和产品相关的配件,所有产品均可按客户要求定制。
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