省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室（以下简称实验室）依托广东工业大学建设，以机械工程学科为主体，并与材料、光学、控制、信息电子、仪器仪表等学科交叉，致力于精密电子制造技术与装备领域的应用基础研究。

实验室瞄准后摩尔时代新一代芯片器件高密度化、微型化、轻薄化的变革趋势与国际前沿，围绕“电子制造高端装备高速精密运动生成与测量”、“元器件微纳米级功能微结构阵列的高精高效创成”两大关键科学问题，开展基础理论研究，引领行业技术进步，促进学科快速发展；对接产业需求，开展高端电子制造装备的核心技术攻关与关键零部件研制，深化产学合作与企业服务，支撑产业高速发展。力争打造一个基础理论研究与核心技术攻关能力兼具、区域特色与产业特色兼备的高水平国家重点实验室，成为我国精密电子制造技术与装备领域科学研究、人才培养与学术交流的重要基地。

实验室密切结合我国、特别是广东省电子信息产业及装备制造领域的紧迫需求，确立了极具特色的三大研究方向：1）跨尺度高速精密运动生成与测控；2）微结构阵列超精密加工；3）电子制造智能装备与系统集成。在执行机构高速急停精密定位、多维跨尺度精密操作、多学科耦合机构综合性能优化方法、宏微协同控制算法、高速高精度三维显微成像原理、微结构阵列创成与性能表征、超精密微结构阵列加工工艺、“机械-化学”复合的超精密加工工艺、电子产品制造系统跨层级运行优化方法等理论方面取得新突破，形成面向下一代精密电子制造高端装备研发的理论体系与集成方法，整体达到国际先进水平，若干细分技术领域达到国际领先水平。建设周期内，实验室将研制出一批具有国际先进水平的多维精密运动平台、高速精密运动控制器与驱动器、精密传感器与测量仪等核心功能部件，逐步打破国外技术封锁；研发系列具有国际先进水平的芯片封装装备、微结构阵列超精密加工机床等高端电子制造装备，逐步替代国外装备，部分装备水平达到国际领先水平，带动我国后端电子制造装备行业成百上千企业实现跨越式发展。

实验室大力推动体制机制改革与创新，建立运作高效的管理机构，建设求真务实、富于创新的研究队伍；创新人力资源管理理念和方式，优化和完善绩效考核制度、项目管理与经费管理制度；切实加强制度执行力度，保障制度执行效果，持续增强实验室创新与发展活力。

近五年取得的代表性成果：

1)2014年国家科技奖进步二等奖：半导体器件后封装核心装备关键技术与应用；

2)2012年度国家自然科学二等奖：若干新型非线性电路与系统的基础理论及其应用；

3)2016年广东省科学技术发明奖一等奖：面向电子装备点位操作的高速精密运动规划与测量技术及应用；

4)2014年广东省科学技术奖一等奖：难加工脆性碳素零部件的高速精密加工关键技术及应用；

5)2013年广东省科学技术奖一等奖：面向定制生产的协同制造系统关键技术与应用；

6)2011年广东省科学技术奖一等奖：基于petri网的制造系统调度及控制，2014年被推荐国家自然科学奖进入答辩

7)第十五届国家专利优秀奖（第一届广东省专利奖金奖）（2013年）：一种金属带材无毛刺分切加工装置及其加工方法；

8)第十八届中国专利优秀奖（2016年）：一种单轨绝对光栅尺及其图像编码方法；

9)第四届广东省专利奖金奖（2016年）：基于主频能量时域最优分布的非对称变加速度规划方法；

10)2012年获吴文俊智能科学技术奖创新一等奖（2014年获广东省推荐2015国家自然科学奖）：可拓学的基本理论与方法研究。